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제목

실험실용 고진공 High Vacuum 설비 장치 System

작성자 SH-SCIENTIFIC(ip:)

작성일 2022-03-31

조회 128

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내용



고진공 High Vacuum 설비 

Diffusion or Turbo Molecular Pump


본 설비는 대학 실험실 또는 기업 연구실에서 고진공 분위기가 필요한 챔버와

간단히 연결하여 바로 고진공을 실현할수 있는 단독 설비입니다.


최근 납품은 대전 소재 대학 기계공학과 와 대구 소재 외국인 투자 기업입니다.

두 수요처 모두 티타늄 어닐링 공정에 사용 중 입니다.


Diffusion Pump 는 예열 공정과 중진공 진입 공정이 있는 관계로 터보에 비해 사용상 주의가 필요합니다.

공정중 오동작으로 인한 장비 손상및 공정 실폐를 막기 위해 semi automatic 방식을 채택했습니다.

물론, 요구시 full automatic 으로 가능합니다.


이동형 바퀴가 장착된 컴팩트한 사이즈로 이동및 운전이 매우 용이합니다.

6" Diffusion Pump 와 400L 급 오일로타리 펌프로 구성되어 있으며 펌핑능력은

챔버 크기와 상태에 따라 다릅니다. 

10(-5) Torr 까지 고진공 진입이 가능합니다.

            

진공챔버 재질및 형태 
챔버 용량 (Capa) 및 크기 (mm)
도달진공도 및 시간 
적용 당사 기성품
원형 석영튜브 전기로
7.8 L, 100dia x 1000 Lenth
 5x10(-5) (0.00005) torr / 5~7 min
 SH-FU-100STG-WG
진공 건조기
27 L, 300 x 300 x 300 (wxdxh)
  5x10(-4) (0.0005)  torr / 2~3 min
 SH-VDO30NG
216 L, 600 x 600 x 600 (wxdxh)
5x10(-4) (0.0005)  torr / 20~25min
SH-VDO70NG
진공 머플 전기로10 L, 215 x 215 x 215 (wxdxh)
 5x10(-4) (0.0005) torr / 1.5~2hr
SH-FU-10MGV

 


Diffusion Pump 용 chiller 도 함께 구매 가능합니다. 


10(-6) 이하 고진공 진입 또는 오일펌프를 사용할수 없는 반도체 공정등에는

터보 분자 Turbo Molecular 펌프와 드라이스크롤 Dry Scrol 펌프를 장착하여야 하며 이 또한 제작,납품가능합니다.


자세한 문의는 1544-0351 (주)삼흥에너지로 연락주시면 성의껏 답변드리겠습니다.



chiller 칠러는 당사의 SH-WB-5CDR(-15) 를 선택하시면 됩니다.

장비 내 설치된 진공용 밸브는 모두 phnumatic 공압 타입으로 air 공급이

필수이며 이 또한 소형 compressor 를 함께 구매 가능합니다.



진공 박스 챔버 또는 진공 튜브와의 연결구는 아래 사진과 같이

KF25 또는 KF40 기본이며 사용자 요구사항에 맞게 제작도 가능합니다.


 

본 설비의 배관은 모두 Stainless steel 로 되어있고

Diffusion 디퓨전 펌프 에 공급되는 air port 와 냉각수 cooling water port

의 규격은 원하는 규격으로 교체가 용이하도록 되어있어 실험실 환경에 

맞추어 사용하시기 편리합니다.



본 설비의 운전은 아래 5단계로 이루어 집니다.


(1) 운전대기 

 Main Power 를 시킴.. 운전대기 단계로 진입

          

 아래 그림처럼 AIR LOWER , WATER LOWER 램프에 점등이 된 상태에서는 작동이 되지 않습니다.

 AIR 공급 이나 냉각수 공급이 이루어지지 않는다는 뜻 이니 확인하십시요..



(2) 예열단계  

Diffusion 디퓨전 Pump 펌프의 오일을 가열하는 단계입니다. 터보 펌프에는 없는 공정입니다.


(3) 중진공 단계

  진공 박스 챔버 또는 진공 튜브의 진공도가 0.05 Torr 이하 까지 진입시키는 단계입니다. 


(4) 고진공 단계 

본격적인 Full 가동이 시작되는 단계입니다..



(5) 진공 종료및 냉각단계