고진공 펌프
High vacuum pump
Diffusion or Turbo Molecular Pump
본 설비는 대학 실험실 또는 기업 연구실에서 고진공 분위기가 필요한 챔버와 간단히 연결하여 바로 고진공을 실현 할 수 있는 단독 설비입니다.
- Diffusion Pump + Oil Rotary 로 구성
- 외부케이싱 구조및 이동형 바퀴장착으로 컴팩트한 디자인
- 자동운동방식으로 사용편의
- 오일역류 방지, 워밍업 운전및 종료시 필요한 안전장치 장착
- 냉각수 및 air 공급이 필요 (option 선택 필요)
- 최대 진공 10(-6) Torr
- 운전 진공 10(-5) ~ 10(-4) Torr 까지 운전가능
- Turbo molecular + Dry Scorl 로 구성 선택가능
- 디지탈 진공도 표시 , 각종 경고등 및 운전상황 표시 램프 장착
| 제품명 | 고진공 펌프 (High vacuum pump)
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|---|---|
| Model | SH- HV40 |
| Type | Diffusion & Oil Rotary |
| Pumping Speed(50/60Hz) | 312L/min |
| Ultimate Total Pressure | 2.6x10-4 Pa(2.0 x 10-6 Torr) |
| Power Supply | 220V 50/60Hz ,Single Phase |
| Power Rating | 1.75KW |
| Inlet Port & Outlet Port | Inlet : KF25 , KF40 , KF50 / Outlet : KF25 |
| Air In Port | 6￠ One Touch Type (압력 5kg 이상 필요) |
| Water In/out Port | 12￠ One Touch Type |
| Diffusion Oil Capacity | 0.34 L |
| Roraty Oil Capacity | 0.9 L ~ 1.5 L |
| Ambient Temperature | 5~40℃ |
| Noise | ≤58dB |
| Weight
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145Kg |
- • Option
- Chiller - SH-WB-5CDR(-30)
- Air Compressor
Application
튜브전기로(Tube Furnace)와 연결시 금속 파우더 무산소 어닐링 공정에 최적화
챔버 형태및 크기별 도달진공도 (무부하 상태기준)
| 진공챔버 재질및 형태
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챔버 용량 (Capa) 및 크기 (mm)
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도달진공도 및 시간
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적용 당사 기성품
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|---|---|---|---|
| 원형 석영튜브 전기로
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7.8 L, 100dia x 1000 Lenth
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0.00005(5x10-5) torr/5~7 min
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SH-FU-100STG-WG
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| 진공 건조기
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27 L, 300(w) x 300(d) x 300(h)
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0.0005(5x10-4) torr/2~3 min
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SH-VDO30NG
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| 216 L, 600(w) x 600(d) x 600(h)
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0.0005(5x10-4) torr/20~25min
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SH-VDO216NG
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| 진공 머플 전기로
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10 L, 215(w) x 215(d) x215(h)
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0.0005(5x10-4) torr/1.5~2hr
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SH-FU-10MGV
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*본 설비의 운전은 아래 5단계로 이루어 집니다.
(1) 운전대기
Main Power를 시킴. 운전대기 단계로 진입
아래 그림처럼 AIR LOWER , WATER LOWER 램프에 점등이 된 상태에서는 작동이 되지 않습니다.
AIR 공급 이나 냉각수 공급이 이루어지지 않는다는 뜻 이니 확인하십시요.
(2) 예열단계
Diffusion 디퓨전 Pump 펌프의 오일을 가열하는 단계입니다. 터보 펌프에는 없는 공정입니다.
(3) 중진공 단계
진공 박스 챔버 또는 진공 튜브의 진공도가 0.05 Torr 이하 까지 진입시키는 단계입니다.
(4) 고진공 단계
본격적인 Full 가동이 시작되는 단계입니다.
(5) 진공 종료 및 냉각단계